收入端延续快速地增长，线亿元，同比增长40%-60%，其中Q2实现营业收入29.2-36.4亿元，同比增长33%-66%，延续快速地增长，符合市场预期，主要系受下游需求强劲，公司电子工艺装备及电子元器件业务均进展良好。短期来看，半导体设备行业景气度延续，2022年年1-2月公司新增订单超过30亿元，同比增速超60%。截至2022Q1末，公司存货和合同负债分别为为97.1、、50.9亿元，分别同比+63.5%、、+13.3%，均验证在手订单充足，为公司业绩持续高增打下基础。此外，2021年公司非公开募集85亿元，用于“半导体装备产业化基地扩产项目（四期）”等项目，将有效缓解产能瓶颈，进一步夯实核心竞争力，保障业绩持续快速增长。

  2））利润端：2022H1公司归母净利润约7.1-8.1亿元，同比增长130%-160%；实现扣非归母净利润6.0-6.9亿元，同比增长165%-205%，超过市场预期。2022H1利润端增速大幅领先收入端，侧面反映公司真实盈利水平显著提升，我们推测一方面系产品结构优化，整体毛利率有所提升，另一方面系规模效应下期间费用率有一定下降。

  股权激励下沉进一步调度员工积极性，利于公司中长期发展2022年公司拟向激励对象授予1310万份股票期权，占公司股本2.48%，其中首次授予（1050万份）已于2022年7月5日完成，激励对象主要为核心技术人才（777人）&管理骨干（63人），不包含董事&高级管理人员。截至2021年底，公司技术人员为2968人，本次激励覆盖面达到26.18%，激励范围比较广泛。中国大陆半导体产业的快速地发展，技术人才是重要竞争力，本次股权激励覆盖面进一步下沉，能更好地激励人才，有效地将公司利益和激励对象紧密捆绑，利于公司中长期发展。

  集成电路装备持续突破，长期受益晶圆产能东移&设备国产替代作为本土半导体设备产品线最齐全的企业，公司在多产品线新品快速突破，将持续受益晶圆产能东移&设备国产替代趋势。公司产品体系持续完善，集成电路装备面向逻辑、存储、功率、先进封装等多领域拓展，刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉、清洗机等多款新品进入主流产线。具体来看，逻辑领域主流芯片产线批量采购公司设备；存储领域多种新型工艺设备进入产线验证；先进封装领域实现多产品系列布局，与国内主要封装厂均建立了合作伙伴关系；功率器件领域与国内主流厂商开展深度合作，成为业内主流厂商重要设备供应商，公司成长空间持续快速打开。

  盈利预测与投资评级：我们维持2022-2024年公司营业收入预测分别为141.20、186.09和245.47亿元，当前市值对应动态PS分别为

  11、8、6倍。考虑公司盈利水平持续提升，我们调整2022-2024年公司归母净利润预测分别为17.93、24.07和31.97亿元（前值15.61、20.51、30.99亿元），当前市值对应动态PE分别为88、66、49倍。考虑到公司在手订单充足，估值仍处底部，维持“买入”评级。

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